蒸氣流真空泵是一種用蒸氣流體作為抽氣介質來獲得真空的裝置。
蒸氣流真空泵包括蒸氣噴射泵、蒸氣增壓泵和蒸氣擴散泵等。其抽氣機理都是基于高速運動的蒸氣流與被抽氣體混合進行能量交換而實現抽氣作用的。
在蒸氣流真空泵內,蒸氣由噴嘴噴射出的流動狀態可以是湍流的，也可以是粘滯流的,究競是哪種流態主要取決于蒸氣流的壓力和流過噴嘴的蒸氣流量。
蒸氣流噴射泵的作用，是在湍流(紊流)的條件下依靠蒸氣流表面大量的漩渦與被抽氣體相互摻合而卷帶氣體。在此過程中,被抽氣體分子在射流的方向上獲得了由蒸氣分子給予的沖量。除了湍流卷帶氣體之外,還有微弱的粘滯攜帶氣體和擴敢攜帶氣體的作用。根據這種機理設計的真空泵叫蒸氣流噴射泵。
如果由噴嘴噴射出來的工作流體為粘滯流(層流)流動狀態，則工作流體依靠其邊界層和 被抽氣體層之間的粘性摩擦而攜帶氣體。除此之外，還有一定的擴散攜帶氣體的作用。按此 原理制成的泵稱為蒸氣流增壓泵(簡稱增壓泵)，這類泵的工作范圍為10Pa~10_2Pa級。
當被抽氣體的壓力很低時,由噴嘴噴射出的工作流體的密度進一步降低(速度較大),被抽氣體分子擴散進人蒸氣流中而被抽走。由此而設計的泵稱為擴散泵，其工作范圍為10-6Pa.
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